在選擇驅(qū)動電機時，應結(jié)合電機的特點，考慮精密工件臺的運動模式、負載情況和精度要求。

(1)精密工件臺的運動模式

①步進運動　　在步進運動模式中，輸入的命令使步進電機以步進的形式運動，使工件臺從一個位置步進到另一個位置，在這個過程中電機處在經(jīng)常的加速一減速的運行狀態(tài)。　　以步進重復電子束曝光的作圖方式為例，當電子束完成一個場的曝光后，工件臺移動一個場的距離，再進行另一個場的曝光。在這個過程中，步進重復電子束曝光機中電機的運動曲線通常分成四個部分，如圖3-4所示，I為加速區(qū);II為全速運行區(qū)，在這個區(qū)中工件臺以最大速度運動;i為減速運行區(qū);W為振蕩穩(wěn)定區(qū)，最后直到電機停止運行。

②連續(xù)運動　　在連續(xù)運動的模式中，保持輸出速度恒定不變，并且根據(jù)輸入命令而改變運動的方向。相對于步進運動方式來說，連續(xù)運動不需要頻繁的啟動、停止，因而連續(xù)運動方式的工作效率比步進運動方式的工作效率要高。但以連續(xù)運動方式工作時，需要控制系統(tǒng)能夠克服運動過程中的內(nèi)外干擾而保持恒速，這對控制系統(tǒng)的要求是較高的。

在目前掃描光刻方式中，常常采用一個方向連續(xù)運動，另外一個方向步進運動。如，光柵掃描式電子束曝光機采用了連續(xù)光姍掃描曝光方式，即工件臺在X方向連續(xù)高速運行的同時，電子束在Y方向高速偏轉(zhuǎn)，這種作圖方式克服了慣性對定位精度的影響，可以提高曝光作圖的效率。在X方向的運動曲線如圖3-5所示，工為正向的加速區(qū);H為正向全速運行區(qū)，即工件臺運行在正的最大速度區(qū);m為正向減速區(qū);W為反向加速運行區(qū)，直到電機加速到負的最大速度，工件臺運行在負的最大速度區(qū)V ; VI為反向減速區(qū)。不管精密工件臺是以步進運動模式還是以連續(xù)運動模式運行，在工作過程中其運動都具有頻繁加減速的特點。

(2)精密工件臺的負載

在選擇驅(qū)動電機時，負載情況是必須考慮的一個因素。所有負載可以用轉(zhuǎn)動慣量、摩擦及粘性阻尼三個特征參數(shù)來表示。其中，摩擦負載直接影響系統(tǒng)的控制精度，當要求工件臺做低速跟蹤時，由于摩擦負載的存在，系統(tǒng)將出現(xiàn)所謂的“爬行”現(xiàn)象。為了便于計算，在工程上常將摩擦負載視為常數(shù)。為了提高系統(tǒng)的精度和改善低速平穩(wěn)性，多采取以下措施減少摩擦:改善潤滑條件，盡量避免干摩擦;采用滾動摩擦代替滑動摩擦，如，采用滾動導軌支承和滾珠絲杠傳動等;采用動摩擦代替靜摩擦;用粘性摩擦代替干摩擦。對要求高的地方，可以采用靜壓軸承、空氣軸承和靜壓導軌等技術，使摩擦系數(shù)減少到1.0x 10-4-4.0x 10`40轉(zhuǎn)動慣量可以通過計算獲得。因為負載和電機往往通過中間的機械環(huán)節(jié)禍聯(lián)到電機軸上，所以在分析負載的影響時必須將負載的所有參數(shù)折算到電機軸上。

（3)精度要求

精度是精密工件臺的重要指標，精度可分為短時精度和長期精度兩類。短時精度在系統(tǒng)設計時就可確定。影響精密工件臺短時精度的因素主要包括:反饋元件精度、電機特性等。長期精度則在很大程度上受系統(tǒng)中元件抗溫度及其他環(huán)境條件的穩(wěn)定性影響。對于精密工件臺來說，一般在溫度、濕度、大氣壓力嚴格控制的環(huán)境下工作，可以保持其長期精度，而且可以通過激光干涉儀來實現(xiàn)高的反饋精度。因此，電機的特性成為選擇電機的重要因素。

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